[웹이코노미=조경욱 기자]

일본 정부가 한국에 대한 수출 규제 조치 이후 처음으로 고순도 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다.

29일 업계에 따르면 일본 경제산업성은 반도체 주요 공정에 쓰이는 불화수소 수출 1건을 허가했다. 불화수소는 반도체 핵심 소재인 웨이퍼(원판)에 회로를 새기는 삭각공정 및 잔여물을 없애는데 사용된다. 순도 99.999%의 불화수소는 일본이 세계시장에서 70% 이상 점유율을 갖고 있다.

앞서 일본은 고순도 불화수소(에칭가스), 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 등 반도체 소재 3개 품목을 개별 수출허가 대상으로 규제 조치했다. 이후 포토레지스트(감광액) 수출은 일본이 두차례 허가한 바 있지만 불화수소는 이번이 처음이다.

이번에 수입된 불화수소는 국내 협력업체를 통해 삼성전자에 공급될 예정이다.

한편 일본에서 지난달 한국에 수출한 고순도 불화수소 물량이 전달보다 80% 넘게 감소했다. 일본 재무성이 밝힌 지난달 고순도 불화수소 한국 수출량은 479톤으로 나타났으며 이는 6월보다 83.7% 급감한 수치다.

조경욱 웹이코노미 기자 webeconomy@naver.com