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전기·전자·화학

삼성전자, 日 대신 벨기에서 포토레지스트 우회 조달

日 경제매체 “일본 기업 JSR·벨기에 IMEC 합작법인 EUV레지스트에서 조달 추정”

 

[웹이코노미=조경욱 기자] 일본 경제전문 매체 '닛케이 아시안 리뷰'는 삼성전자가 일본의 수출 규제에 대응해 벨기에에서 일부 반도체 소재를 조달하고 있다고 11일 보도했다.

 

닛케이 아시안 리뷰는 삼성 간부 출신인 박재근 한양대 융합전자공학부 교수의 말을 인용해 "삼성전자가 벨기에에 소재한 한 업체에서 포토레지스트(감광액)를 조달하고 있다"고 전했다.

 

박교수에 따르면 삼성전자는 최첨단 칩 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 사용하는 포토레지스트(감광액) 화학물질을 6~10개월 단위 물량으로 구입하고 있다.

 

닛케이 아시안 리뷰는 박 교수가 벨기에 공급업체 이름을 공개하지 않았지만 일본 기업 JSR과 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인 EUV레지스트일 것으로 추정했다. 이 합작회사의 최대 주주는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR마이크로다.

 

이 매체는 JSR 사정에 밝은 한 소식통이 일본 정부의 수출 규제 조치 발표 후 지난 7월 중순 “우리는 벨기에 합작법인을 통해 삼성에 포토레지스트를 공급할 것”이라고 말했다면서 박 교수의 언급이 이 말을 뒷받침한다고 전했다.

 

포토레지스트는 일본 경제산업성(경산성)이 지난달 4일부터 한국에 대한 1차 수출규제를 가한 이후 규제 대상이 된 3개 가운데 첫 번째로 허가가 나온 품목이다. 일본 경산성은 지난 8일 개별 수출 신청이 들어온 삼성전자용 포토레지스트 수출 건을 대해 군사전용 우려가 없다고 판단해 통상 심사 기간(90일)을 대폭 단축해 한 달여 만에 승인한 바 있다.

 

이처럼 경산성이 조기 허가를 내준 배경에는 삼성전자가 대체 공급원을 확보한 점을 고려한 게 아니냐는 관측이 나오고 있다.

조경욱 웹이코노미 기자 webeconomy@naver.com